SP3-61 je indium / cínový dioxidový polovodičový plynový senzor, který má vysokou citlivost a selektivitu vůči ozónu. Pomocí tohoto modelu je detekce ozonu možná z nízkých koncentračních rozsahů.
Struktura
Polovodičový materiál citlivý na ozon se tence tvoří na substrátu oxidu hlinitého, na kterém jsou potištěny zlaté elektrody. Tlustý filmový ohřívač oxidu ruthenitého je vytištěn na zadní straně substrátu a umístěn do síťového keramického pouzdra.
Funkce
Účel: Bezpečnost a zabezpečení / Životní prostředí / Pohodlí / Zdraví